2022年光刻机概念股名单全梳理（5月16日）

股涨停为您整理的2022年光刻机概念股，供大家参考。

1、菲利华：

回顾近3个交易日，菲利华有2天上涨，期间整体上涨3.29%，最高价为52.9元，最低价为55.29元，总市值上涨了6.08亿元，上涨了3.29%。

2、张江高科：公司通过旗下全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司间接参股上海微电子装备(集团)股份有限公司（持股比例10.78%）。上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、PowerDevices等制造领域。上海微电子旗下600系列光刻机可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

近3日股价上涨2.54%，2022年股价下跌-28.75%。

3、高盟新材：2019年11月8日公司在互动平台称：公司参股的科华微电子是国内拥有并正常使用荷兰ASML光刻机的光刻胶公司。

近3日高盟新材股价上涨1.85%，总市值上涨了1.7亿元，当前市值为29.83亿元。2022年股价下跌-35.24%。

4、智光电气：公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。

回顾近3个交易日，智光电气期间整体上涨1.45%，最高价为6.73元，总市值上涨了7877.92万元。2022年股价下跌-70.72%。

5、安泰科技：公司2021年6月18日在互动平台表示，公司一种钨合金产品用于国外某型号光刻机设备中，目前已形成了小批量订单。

安泰科技近3日股价有3天上涨，上涨0.82%，2022年股价下跌-46.3%，市值为74.9亿元。

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