光刻机上市龙头企业有哪些？（2022/7/21）

光刻机上市龙头企业有：

华特气体688268：

光刻机龙头股，7月21日午间收盘消息，华特气体截至12时13分，该股报71.19元，涨4.69%，7日内股价上涨1.56%，总市值为86.44亿元。

自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种混合气并在2017年得到全球最大光刻机制造厂商ASML的认证，全球仅4家，公司是中国唯一的一家得到认证的气体公司。

芯源微688037：

光刻机龙头股，7月21日午间收盘最新消息，芯源微5日内股价上涨0.83%，截至12时13分，该股报159.12元涨8.02%。

作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。

大族激光002008：2020年6月17日公司在互动平台称，公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。

智光电气002169：公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。

永太科技002326：截至20年10月，公司光刻胶项目目前生产线已建成待商业化生产，公司正在积极与下游客户商谈合作，该项目产能为1500吨/年CF光刻胶。。

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